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一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法
姬弘桢; 邹娟娟; 崔宝双
2011-07-10
发表期刊红外
卷号32期号:7页码:9-16
摘要提出了一种新的薄膜厚度测量方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底,通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化,即可实现薄膜厚度的精确测量。由于过渡层的厚度已经引起干涉,新镀上去的待测薄膜即使很薄,也会引起干涉的变化。通过镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化,可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度,其测量极限高达1 nm以上。该方法既保持了传统光谱法的所有优势,又可以精确测量纳米超薄膜的厚度。它非常简单、快捷,特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量。

 

关键词薄膜 厚度 测量 精确
文献类型期刊论文
条目标识符http://202.127.2.71:8080/handle/181331/1685
专题上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
姬弘桢,邹娟娟,崔宝双. 一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法[J]. 红外,2011,32(7):9-16.
APA 姬弘桢,邹娟娟,&崔宝双.(2011).一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法.红外,32(7),9-16.
MLA 姬弘桢,et al."一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法".红外 32.7(2011):9-16.
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