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Manipulating feature sizes in Si-based grating structures by thermal oxidation
Chen X(陈鑫)
2008
发表期刊Nanotechnology
卷号19期号:32页码:325305
收录类别sci
语种英语
WOS记录号WOS:000257370600008
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被引频次:2[WOS]   [WOS记录]     [WOS相关记录]
文献类型期刊论文
条目标识符http://202.127.2.71:8080/handle/181331/484
专题上海技物所
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GB/T 7714
Chen X. Manipulating feature sizes in Si-based grating structures by thermal oxidation[J]. Nanotechnology,2008,19(32):325305.
APA 陈鑫.(2008).Manipulating feature sizes in Si-based grating structures by thermal oxidation.Nanotechnology,19(32),325305.
MLA 陈鑫."Manipulating feature sizes in Si-based grating structures by thermal oxidation".Nanotechnology 19.32(2008):325305.
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